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专利号 2021116776775 申请日 2021-12-31 专利名称 一种高调制带宽的垂直腔面发射激光器
授权日 2023-06-06 专利权人 山东大学 发明人 李剑伟;李洵
主分类号 H01S5/183 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种高调制带宽的垂直腔面发射激光器,由下到上分别为衬底层、下DBR层、有源区、氧化限制层、上DBR层以及最上端的P型电极,下DBR层上还敷设有N型电极,有源区由应变量子阱和势垒层构成,应变量子阱的生长晶向为衬底层的(110)方向。本发明所公开的垂直腔面发射激光器选择(110)方向生长应变量子阱,可以加剧重空穴带和轻空穴带之间的分裂,使得应变量子阱价带的有效质量最小,降低导带和价带结构的不对称性,从而降低激光器激射时所需要的反转粒子数,进而在较低的载流子注入时,可以使得有源区的微分增益显著提高;从而提高垂直腔面发射激光器器件的调制带宽和调制速率,使其具有更加优异的高速直调性能。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】