| 专利号 | 2017103738942 | 申请日 | 2017-05-24 | 专利名称 | 一种制备自支撑多孔金属薄膜的方法 |
| 授权日 | 2019-01-18 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 司鹏超;刁方园 |
| 主分类号 | C23C14/16 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种自支撑多孔金属薄膜的制备方法，包括：在铝基底上磁控溅射合金薄膜、退火，得待处理样品；腐蚀掉上述样品的铝基底，得合金薄膜；将上述合金薄膜脱合金处理，即得自支撑多孔金属薄膜。本发明提供一种高效、廉价制备自支撑的、厚度可控的超薄纳米多孔金属薄膜的方法，通过简单的方法制备合金薄膜前驱体，并结合腐蚀和脱合金的方法得到自支撑的、厚度可控的、尺寸较大、连续的纳米多孔金属薄膜。步骤简单、操作方便、实用性强。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
