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专利号 2024228093063 申请日 2024-11-18 专利名称 一种HVPE-GaN尾气过滤处理装置及多级HVPE-GaN尾气过滤处理设备
授权日 2025-11-14 专利权人 山东大学 发明人 张雷;齐占国;王守志;王国栋;俞娇仙;徐现刚
主分类号 B01D50/20 关键词 应用领域
摘要 本实用新型提供一种HVPE‑GaN尾气过滤处理装置及多级HVPE‑GaN尾气过滤处理设备,包括冷凝罐,所述冷凝罐的侧面连通有出气口,所述冷凝罐顶部固定设有与冷凝罐内腔连通的冷凝导流管,所述冷凝导流管的外周侧固定设有过滤件,所述过滤件位于冷凝罐内腔顶端,所述过滤件底部设有隔板,所述隔板一端与冷凝罐的内侧壁固定连接,所述冷凝罐内且位于隔板的下端固定设有第二过滤网,所述冷凝罐内且位于第二过滤网的下端固定设有粉尘收集桶。本设备结构简单,使用方便,能够大量过滤截流NH4Cl颗粒物,使NH4Cl颗粒物不在封堵、腐蚀排气管道,提高了设备使用寿命。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 节能环保产业    先进环保产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】