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专利号 2020114285083 申请日 2020-12-09 专利名称 一种光束整形的激光加工装置及方法
授权日 2022-08-05 专利权人 青岛理工大学 发明人 邵晶;韩素立;孙树峰;杨勇;陈成军;张若兰;董浩
主分类号 B23K26/073 关键词 应用领域
摘要 本发明属于激光加工领域,提供了一种光束整形的激光加工装置及方法。其中,光束整形的激光加工装置包括偏振角度调整器件、空间光调制器、振镜和聚焦透镜;所述偏振角度调整器件用于将截面尺寸与空间光调制器尺寸一致的平行光束调整成设定偏振角度并射入空间光调制器;所述空间光调制器上加载有相位调制掩膜,相位调制掩膜用于调制衍射光束的振幅分布和相位分布,产生光束整形所需的出瞳复函数信息,得到调制的平行光束在聚焦透镜的像面位置产生所需要的整形聚焦光斑;所述振镜将含有整形所需统出瞳复函数信息的平行光束反射成不同角度,经过聚焦透镜,用于将整形聚焦光斑投射到工件表面的不同位置。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 高端装备制造    智能制造装备产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】