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专利号 2022116894564 申请日 2022-12-27 专利名称 一种降低AlN晶体生长粉料杂质含量的方法
授权日 2024-09-20 专利权人 山东大学 发明人 张雷;曹文豪;王国栋;王守志;俞娇仙;刘光霞;陈成敏;徐现刚
主分类号 C30B35/00 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种降低AlN晶体生长粉料杂质含量的方法,本发明在AlN原料中特定掺入部分钨元素,控制烧结温度和烧结时间进行两次烧结,形成细丝状的化合物,沉积在粉料源下方,从而降低AlN粉料整体的杂质含量,通过这种方法烧结出的AlN原料的杂质含量能够下降3‑5个数量级,在很大程度上提高了晶锭质量;粉料源中的碳氧杂质极大降低,从而起到有效降低原料中的碳氧杂质的作用,得到原料,碳氧元素明显降低,原料更加金黄透亮,内部和外部的杂质和缺陷也会肉眼可见的降低。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进无机非金属材料
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】