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专利号 2025114917387 申请日 2025-10-20 专利名称 一种半导体器件电容电压测试系统及方法
授权日 2026-01-20 专利权人 山东科技大学 发明人 郑舟;李浩祥;陈辉;王晓敏;孙振东;孔旭
主分类号 G01R31/26 关键词 应用领域
摘要 本发明属于电子测量技术领域,公开了一种半导体器件电容电压测试系统及方法。本发明通过基于高频PWM升压与对称拓扑倍压链相结合的电源电路,以解决现有便携式设备难以在紧凑体积内高效生成宽范围、对称双极性高压偏置的电源瓶颈问题;基于交直流隔离的差动脉冲调宽测量电路,通过注入相位相反的测量脉冲并进行差分采样,利于解决现有单端测量方法对共模噪声和地线干扰极其敏感、导致在现场环境中可靠性低的问题,提升了测量的精度与稳定性;通过提出一种基于动态输出基线校正的软件时序控制方法,在每个偏置点通过稳定‑评估输出基线‑测量‑补偿的智能序列来实现,以解决现有方法中存在的慢响应现象。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新能源产业    生物质能及其他新能源产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】