| 专利号 | 2022109942597 | 申请日 | 2022-08-18 | 专利名称 | 高分辨率位移测量装置及测量方法 |
| 授权日 | 2025-05-13 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 刘维新;武中臣;贺鹏志;王晴;仲亦凡 |
| 主分类号 | G01B11/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种高分辨率位移测量装置和测量方法。在楔形玻璃片移动过程中，通过高频光电探测器测量激光双纵模的频率变化；通过分光棱镜对双纵模进行分光处理，通过光电探测器一和光电探测器二分别测量光束一和光束二的光强，基于光强变化的正负值，以及频率变化值，计算与楔形玻璃片相连的运动目标位移。该装置和方法将激光振荡纵模的频差与目标的位移关联起来，可充分利用频率测量的高精度和高分辨率，使得位移测量达到亚纳米的高分辨率，有利于应用到微位移测量领域。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
