| 专利号 | 2019110554548 | 申请日 | 2019-10-31 | 专利名称 | 一种具有纳米孔阵列的超导微米线单光子探测器及其制备方法 |
| 授权日 | 2023-05-02 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王强;徐明升;侯雷 |
| 主分类号 | H01L31/09 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有纳米孔阵列的超导微米线单光子探测器及其制备方法，该单光子探测器包括自下到上依次设置的衬底、金属薄膜反射镜、介质层、超导微米线；衬底上超导微米线的占空比为20％‑80％，超导微米线中设置有纳米孔阵列，纳米孔内设置有金属纳米颗粒。该单光子探测器具有较大的超导微米线结构使得器件整体有效探测面积变大；通过超导微米线上制备纳米孔阵列，并在纳米孔内设置金属纳米颗粒，利用金属纳米颗粒的光场局域增强效应，大大提高了的入射光以及由金属薄膜反射镜反射回的光的吸收效率。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
