| 专利号 | 202110097825X | 申请日 | 2021-01-25 | 专利名称 | 一种制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法及其产品与应用 |
| 授权日 | 2023-04-07 | 专利权人 | 齐鲁工业大学 | 发明人 | 欧阳俊;赵玉垚 |
| 主分类号 | C23C14/35 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本公开涉及薄膜材料制备技术领域，具体提供一种制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法及其产品与应用。制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法包括如下步骤：基体处理、在基体上沉积底电极、在底电极上沉积缓冲层、在缓冲层上沉积钛酸钡介电层、在钛酸钡介电层上沉积顶电极，其中，在基体上沉积底电极采用射频磁控溅射法完成，射频磁控溅射法的溅射气氛为纯Ar，气压控制在0.3Pa。解决现有技术中中低温下的原位制法制得的钛酸钡薄膜能性能较差，无法满足应用需求的问题。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
