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专利号 2018113319598 申请日 2018-11-09 专利名称 一种低介电、高强度多孔氮化硅陶瓷及其制备方法
授权日 2021-06-15 专利权人 济南大学 发明人 张柳;李庆刚;史国普;吴俊彦;王志;黄世峰;程新
主分类号 H01B3/10 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种通过微观结构调控制备低介电、高强度的多孔氮化硅陶瓷的制备工艺,包括如下步骤:凝胶的制备、坯体成型、坯体的干燥、坯体的排胶、坯体的烧结。本发明为了提高β‑Si3N4的转化率,在浆料中添加硼化锆促进α‑Si3N4向β‑Si3N4的转化,可以形成高长径比β‑Si3N4柱状晶相互搭接构成多孔氮化硅陶瓷的孔隙骨架,提高了其强度。本发明提供的多孔氮化硅陶瓷的制备工艺成本低,工艺简单,所制得的多孔氮化硅陶瓷孔隙率高、低介电常数且力学性能好。孔隙率在≥50%,介电常数3.3±0.1,抗弯性能在99.89~131.67MPa。最终多孔氮化硅陶瓷微观结构如附图。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新能源产业    智能电网产业
运营方式 合作方式
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