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专利号 2022101855266 申请日 2022-02-28 专利名称 一种化学浴沉积介孔二氧化锡薄膜的方法
授权日 2024-11-05 专利权人 青岛科技大学 发明人 王莉;赵强强;盛洪庆;周忠敏
主分类号 C23C18/12 关键词 应用领域
摘要 本发明属于纳米材料技术领域,具体涉及一种化学浴沉积介孔二氧化锡薄膜的方法。向水中加入尿素,浓盐酸,巯基乙酸和锡源获得透明均相溶液,将所得透明均相溶液低温下老化,而后将基材浸泡在老化的透明均相溶液中,低温下于基材表面原位沉积而成厚度在60nm‑200nm的介孔二氧化锡薄膜。本发明所采用的材料成本较低,工艺简便,低温制备,实现了一种低成本制备介孔二氧化锡薄膜的方法。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进无机非金属材料
运营方式 合作方式
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【关 闭】