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专利号 2021110379762 申请日 2021-09-06 专利名称 一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法
授权日 2022-07-26 专利权人 山东大学 发明人 赵显;孙丽;王鹏;国星;张雪;李妍璐;于法鹏
主分类号 C30B25/02 关键词 应用领域
摘要 本发明属于二维材料制备领域,具体涉及一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法。所述方法为:采用载气A和载气B混合作为载流气体,先通过设定载气A和载气B的比例构造出近平微凸温场,再调整二者的比例构造出平温场,经过化学气相沉积获得大尺寸单晶二维材料;所述载气A为惰性气体,载气B为与载气A热导率不同的气体。本发明通过在反应室内引入不参加二维材料化学反应生成、且热导率不同的气体,在加强物质间相互作用的同时,有效对反应腔内的温场进行调控,设计并实现了在二维材料生长区域内凸温场向平温场的转变,充分提供温度驱动力,进而促进二维材料核的横向长大,最终获得高质量的大尺寸单晶二维材料。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进无机非金属材料
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】