| 专利号 | 2021110379762 | 申请日 | 2021-09-06 | 专利名称 | 一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法 |
| 授权日 | 2022-07-26 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵显;孙丽;王鹏;国星;张雪;李妍璐;于法鹏 |
| 主分类号 | C30B25/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于二维材料制备领域,具体涉及一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法。所述方法为:采用载气A和载气B混合作为载流气体,先通过设定载气A和载气B的比例构造出近平微凸温场,再调整二者的比例构造出平温场,经过化学气相沉积获得大尺寸单晶二维材料;所述载气A为惰性气体,载气B为与载气A热导率不同的气体。本发明通过在反应室内引入不参加二维材料化学反应生成、且热导率不同的气体,在加强物质间相互作用的同时,有效对反应腔内的温场进行调控,设计并实现了在二维材料生长区域内凸温场向平温场的转变,充分提供温度驱动力,进而促进二维材料核的横向长大,最终获得高质量的大尺寸单晶二维材料。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业  先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||