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专利号 2023115476645 申请日 2023-11-20 专利名称 一种复相CsBr/Cs3Bi2Br3I6阵列薄膜的制备方法及其应用
授权日 2026-01-27 专利权人 山东理工大学 发明人 焦万丽;张鸿铭;张磊;赵振
主分类号 C23C14/24 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种复相CsBr/Cs3Bi2Br3I6阵列薄膜的制备方法及其应用,涉及半导体技术领域。本发明具体过程如下:以溴化铯简单气相蒸镀法在叉指电极表面沉积CsBr微球,以碘化铋为反应原料,以N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂,通过多次喷涂及热处理在CsBr微球上原位反应生长Cs3Bi2Br3I6阵列薄膜,该薄膜均匀多孔,Cs3Bi2Br3I6片状纳米晶垂直生长于CsBr微球表面和间隙中,CsBr微球直径为1‑3微米,Cs3Bi2Br3I6纳米片的厚度为50‑100纳米,与基底材料结合牢固,所制备的复相CsBr/Cs3Bi2Br3I6阵列薄膜对硫化氢气体表现出室温敏感性能。本发明与现有技术相比优点在于:制备工艺设计合理、大面积成膜均匀度高、可操作性强,室温下对H2S气体灵敏度高,长期稳定性好。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进有色金属材料
运营方式 合作方式
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【关 闭】