| 专利号 | 2022107162853 | 申请日 | 2022-06-23 | 专利名称 | 一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法 |
| 授权日 | 2023-07-14 | 专利权人 | 济南大学 | 发明人 | 周伟家;辛笛;孙德辉;张运武;刘晓燕;赵莉莉;王东周;刘宏 |
| 主分类号 | C30B33/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，包括以下步骤：(1)将抛光后的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片置于密闭装置中，然后充满还原性气体；(2)按照设定好的图形，激光欠焦照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，通入惰性气体排出还原性气体，得到局域黑化的晶片。所述激光欠焦的参数为：激光波长为1064nm，激光功率为4～10W，欠焦距离为0.50～2.50cm，扫速为100～600mm/s。本发明在还原性气体氛围内，采用激光照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，能够快速实现晶片黑化，同时还可以对黑化的区域进行选择，达到局域化黑化的目的。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
