| 专利号 | 2020100689289 | 申请日 | 2020-01-21 | 专利名称 | 一种磷硅镉多晶料的高压合成装置及方法 |
| 授权日 | 2021-11-09 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 张国栋;程奎;张龙振;陶绪堂 |
| 主分类号 | C30B28/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种磷硅镉多晶料的高压合成装置及方法，所述装置包括合成料舟、可密封石英管、高压炉体、温度控制单元、压力控制单元；所述高压炉体包括外壳、加热元件、高压炉管，所述加热元件与外壳之间设置有保温层，所述高压炉管开口端配有法兰，另一端封口；所述温度控制单元包括控温热电偶和温度控制仪表，所述控温热电偶两端分别与温度控制仪表和加热元件连接；所述压力控制单元包括依次连接的进气阀、压力表、排气阀、安全泄压阀，所述进气阀另一端与高压炉管开口端连接；所述可密封石英管位于高压炉管内，所述合成料舟位于可密封石英管内。采用该装置可单次制备出大批量的高纯度的磷硅镉多晶料，用于高质量的磷硅镉单晶生长。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
