| 专利号 | 202211473560X | 申请日 | 2022-11-23 | 专利名称 | 一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法 |
| 授权日 | 2025-08-12 | 专利权人 | 聊城大学 | 发明人 | 马海俐;徐堃;玄成聪;姚一村;王明红;白成林 |
| 主分类号 | G01N21/41 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种波导微腔马赫‑曾德干涉型折射率传感器的制备方法，步骤如下：采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写波导和微腔，所述波导由直线型波导与分支直线波导构成；所述微腔横截面覆盖分支直线波导模场；所述直线型波导需保持结构完整，与微腔无空间交叠。相对于传统微腔马赫‑曾德传感器，具有更高的灵敏度，其制备也更为简单，所制备的器件具有更好的机械强度及工艺容差。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
