| 专利号 | 201910538882X | 申请日 | 2019-06-20 | 专利名称 | 一种物理气相沉积样品加热装置 |
| 授权日 | 2021-09-14 | 专利权人 | 枣庄学院 | 发明人 | 高炬;赵蒙 |
| 主分类号 | C23C14/54 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于物理气相沉积镀氧化物薄膜技术领域，具体涉及一种物理气相沉积样品加热装置。其包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构，所述加热元件为碳化硅加热板。本发明提供的技术方案利用碳化硅加热元件，开发了一种小型价廉的氧化物镀膜用样品加热装置，可以在高氧气压环境中实现1000℃以上稳定工作，该加热装置体积小寿命长，变温迅速，温度稳定、能承受环境气压和温度的急剧变化、价格低廉，并能很方便地在真空下实施样品的更换。为氧化物薄膜的沉积生长提供了一个很好的加热手段。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
