| 专利号 | 2020106793498 | 申请日 | 2020-07-15 | 专利名称 | 一种BMN多层介质薄膜及其制备方法 |
| 授权日 | 2022-02-18 | 专利权人 | 齐鲁工业大学 | 发明人 | 石锋 |
| 主分类号 | C23C18/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种BMN多层介质薄膜及其制备方法，属于微电子技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将Nb2O5、氢氟酸和氨水混合，进行沉淀反应，得到氢氧化铌沉淀；将所述氢氧化铌沉淀、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到铌‑CA溶液；将所述铌‑CA溶液、硝酸铋、硝酸镁、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到BMN前驱体溶胶；利用激光脉冲沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基片的表面沉积MgO，得到MgO仔晶层；将所述BMN前驱体溶胶涂覆在所述MgO仔晶层的表面后，在氧气条件下，进行退火热处理，得到单层薄膜；将所述单层薄膜重复所述涂覆和退火热处理过程，得到BMN多层介质薄膜。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
