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专利号 2019110901149 申请日 2019-11-08 专利名称 一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法
授权日 2020-12-11 专利权人 济南大学 发明人 张莉;荣振宇;杨伊凡;刘蓬源
主分类号 G01B11/02 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法,其特征是包括以下步骤:将金属棒固定到热膨胀实验仪上,并在金属棒的上端固定带有刻度的白板;He‑Ne激光器发出的激光经扩束后照射到白板上,形成激光散斑;调整成像透镜与CCD仪器的位置,使用CCD仪器记录下白板在初始位置时以及在不同温度时的的散斑分布;利用计算机将所得到的二次曝光散斑强度分布的功率谱做逆傅里叶变换,并测量该光场中相邻两自相关强度峰值点的间距,即可计算出待测的横向微位移量。本发明涉及测量设备领域,具体地讲,涉及一种利用激光散斑自相关技术测量横向微位移的方法。本发明有利于实现横向微位移测量。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 高端装备制造    智能制造装备产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】