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专利号 2022108469943 申请日 2022-07-06 专利名称 一种具有高疏水和自润滑的ZrYAgN纳米固溶薄膜的制备方法
授权日 2023-10-27 专利权人 烟台大学 发明人 任萍;宋啟尧;王港港;杨晓阳;邱剑勋
主分类号 C23C14/35 关键词 应用领域
摘要 一种具有高疏水和自润滑的ZrYAgN纳米固溶薄膜的制备方法,涉及一种ZrN基纳米固溶薄膜的制备方法。本发明是要解决目前ZrN基薄膜的摩擦学性能与疏水性能较差的技术问题。本发明通过将稀土元素Y和软质延性金属Ag元素的引入,可以激发摩擦化学反应而形成具有协同润滑效应的摩擦氧化产物和自润滑相,有效地降低薄膜的平均摩擦系数。此外,固溶Y原子和Ag原子可以有效地剪裁薄膜表面的化学键态,加速形成Y2O3和Ag2O疏水基团。本发明提出了利用磁控溅射法构筑集高疏水、自润滑和低摩擦等性能于一体的ZrYAgN纳米固溶薄膜的新方法,该方法制备出的ZrYAgN纳米固溶薄膜在航空航天构件表面具有良好的发展应用前景。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进有色金属材料
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】