| 专利号 | 2017112862351 | 申请日 | 2017-12-07 | 专利名称 | 一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法 |
| 授权日 | 2019-08-09 | 专利权人 | 青岛大学 | 发明人 | 毛遂;唐建国;黄林军;王薇;王彦欣 |
| 主分类号 | C23C14/14 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法，该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺，本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能，降低贵金属纳米颗粒的制备温度，拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于，能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50～300℃，并通过控制In在合金中的比例，调节贵金属纳米颗粒的大小和密度，简单高效，能够集成于半导体器件的加工工艺之中。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
