| 专利号 | 2021108557117 | 申请日 | 2021-07-28 | 专利名称 | 一种悬空电桥式MEMS传感结构 |
| 授权日 | 2024-03-22 | 专利权人 | 山东理工大学 | 发明人 | 庄须叶;张佳宁;李平华;张晓阳;刘靖豪 |
| 主分类号 | G01D21/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种电桥式MEMS传感结构，属于MEMS检测技术领域，主要适用于气体传感器、压力传感器、麦克风传感器等。其包括两个悬空的传感器平台，分别为检测平台和对比平台，两个平台皆由支撑梁、传感平台、加热电极、敏感电极组成。传感平台通过支撑梁支撑在一个硅空腔体结构上，加热电极、敏感电极排布在传感平台上，并通过支撑梁与外界实现电学连接，对比平台上设置有可调电阻，调节两平台阻值相等。所公开的传感结构具有低串扰性、通用性强、稳定性高、功耗低等优点。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 节能环保产业 先进环保产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
