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专利号 2020106634788 申请日 2020-07-10 专利名称 X射线直接探测图像传感器、其像素单元及制备方法
授权日 2021-05-07 专利权人 山东大学 发明人 张亮;王萌;董家宁;王安庆
主分类号 H01L27/146 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了X射线直接探测图像传感器、其像素单元及制备方法,包括:P型衬底;所述P型衬底上设有P型外延层;所述P型外延层用于直接接收X射线;所述P型外延层上设有第一P阱,所述第一P阱上设有若干个N型有源区;所述P型外延层上设有N阱,所述N阱上设有N型有源区;N阱与P型外延层形成一个二极管,用于收集非平衡电子;所述P型外延层上设有第二P阱,所述第二P阱上设有P型有源区。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】