| 专利号 | 2023112282883 | 申请日 | 2023-09-22 | 专利名称 | 一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜及其制备方法 |
| 授权日 | 2024-04-26 | 专利权人 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) | 发明人 | 石锋;安忠芬;张灵翠;于迎波;刘方元;徐越;沈燕;赵金博 |
| 主分类号 | C23C18/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括基片和基片上层叠的以BZN/BMN为周期单元重复排列的复合层，所述复合层中包括2～3个周期单元；所述多层复合的介电可调薄膜在1.5MV/cm的偏置电场下介电调谐率≥60％，介电损耗≤0.006。本发明提供的复合薄膜综合了BZN薄膜和BMN薄膜的性能特点，在较低偏置电压下介电调谐率高，兼具较小的介电损耗和较强的性能稳定性。此外，本发明使用溶胶‑凝胶法制备上述复合薄膜，在制备BZN薄膜和BMN薄膜时，使用硫酸代替有高毒性和易挥发性的氢氟酸，降低了对设备材料要求和对环境的污染，还节省了制备的工序和成本；使用酒石酸代替柠檬酸，有利于溶胶稳定性的提高，使制备出的薄膜性能更优。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
