| 专利号 | 2018105265505 | 申请日 | 2018-05-23 | 专利名称 | 一种基于钇铝石榴石光波导的起偏器及其制备方法与应用 |
| 授权日 | 2019-08-27 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 陈峰;李让;逄驰 |
| 主分类号 | G02B6/122 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于钇铝石榴石光波导的起偏器及其制备方法与应用，主要包括在YAG晶体中形成银金属纳米粒子光波导结构，以及实现对偏振光的分辨。通过光刻技术在晶体表面形成掩膜，采用能量为100～300keV，剂量为1～10×1016ions/cm2的银离子通过离子注入技术在YAG晶体表面形成银纳米粒子，采用能量为12～16MeV，剂量为2～6×1014ions/cm2的氧离子通过离子注入技术在YAG晶体表面形成光波导结构，清洗掉掩膜，得到基于钇铝石榴石光波导的起偏器；通过端面耦合系统，将偏振光耦合进该起偏器中，实现对偏振光的分辨。本发明利用光刻掩膜技术、银离子与氧离子依次注入后的钇铝石榴石晶体制备起偏器，并结合端面耦合系统实现对偏振光的分辨。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
