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专利号 2024109769215 申请日 2024-07-22 专利名称 一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器及其制备方法
授权日 2024-12-20 专利权人 齐鲁工业大学(山东省科学院) 发明人 王文佳;李奎龙;王锡朋
主分类号 H01L31/113 关键词 应用领域
摘要 本发明提供了一种宽波段自驱动线偏振灵敏光电探测器及其制备方法,涉及光电探测器技术领域,包括基底,以及设置在所述基底上的ZrS3层和ReSe2层,ZrS3层和ReSe2层之间部分重合形成ZrS3/ReSe2范德华异质结,光电探测器的源极设置在ReSe2层上,漏极设置在ZrS3层上,栅极设置在基底背面。本发明提供的光电探测器同时具有宽波段、自驱动、线偏振灵敏特性,能够提高光电探测器的性能和适用性。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新能源产业    太阳能产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】