| 专利号 | 2022101428069 | 申请日 | 2022-02-16 | 专利名称 | 一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置 |
| 授权日 | 2023-10-13 | 专利权人 | 青岛科技大学 | 发明人 | 潘家敬;谷雨 |
| 主分类号 | C23C14/35 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其中包括支架装置、支架下电机、靶装置、靶腔下置的推出装置及中间加热板装置。架装置和支架下电机来进行固定传导旋转及电阻丝预热，靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热，靶材更换时通过推出装置的滑道把靶材推出进行更换。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
