| 专利号 | 2024102618500 | 申请日 | 2024-03-07 | 专利名称 | 一种CVD法制备多层碳化钽涂层的方法及产品 |
| 授权日 | 2024-11-19 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王丽焕;冯翔宇;徐现刚 |
| 主分类号 | C23C16/34 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于半导体技术领域，涉及半导体基底的制备，具体涉及一种CVD法制备多层碳化钽涂层的方法及产品。以钽盐和反应气为原料采用CVD法在基底材料表面制备碳化钽涂层的过程中，在载体气流不变的条件下，将钽盐载气、烷烃和氢气通过循环控制的方式通入，进行实时控制气流比。本发明通过实时控制气流比，使反应气流以正弦交叉波动式通入反应腔室形成多层交错式碳化钽涂层结构，涂层纯度较高，其多层结构能有效阻止裂纹向基底材料的延伸，将基底材料与反应室气氛隔离，起到更好的保护作用。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
