| 专利号 | 2017104626499 | 申请日 | 2017-06-19 | 专利名称 | 一种中空微通道结构的制备方法 |
| 授权日 | 2018-08-14 | 专利权人 | 鲁东大学 | 发明人 | 张登英;刘鑫;李自万;袁慧敏;李宏光;赵风周;张立春;曲崇 |
| 主分类号 | B81C1/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种中空微通道结构的制备方法，具体涉及微细加工领域。该方法采用光刻技术和热回流技术制作微米尺寸的微通道母版，并利用此母板制作PDMS柔性模板，获得的柔性模板具有与微通道母版互补的图案结构，将PDMS柔性模板紧密粘附在基片表面形成微通道空腔，并在一侧滴注S1813光刻胶，光刻胶在毛细力的作用下填充微通道空腔，填充较长时间后进行加热，微腔内的光刻胶发生回流，而与微腔内壁相接触的光刻胶将附着在内壁上，冷却固化并揭掉PDMS柔性模板后，就在基片表面上得到了中空微通道结构。本发明与其他制备中空微通道的方法相比，具有成本低廉，工艺简单等优点。本发明适用于微细加工、微流控芯片、生物医药等应用领域。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
