| 专利号 | 2025106337676 | 申请日 | 2025-05-16 | 专利名称 | 一种高纯度多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用 |
| 授权日 | 2025-08-29 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王丽焕;冯翔宇;徐现刚;张建 |
| 主分类号 | C04B41/87 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于超高温陶瓷材料技术领域，公开了一种高纯度多孔碳化钽陶瓷及其制备方法与应用，将多孔石墨基底水平置于垂直气相沉积腔室中，对腔室抽真空后，通入氩气，将反应气压充压至10‑100 mbar，加热石墨基底至钽元素的沉积温度；将无机钽盐和氢气输送至腔室中，实现第一区域的钽元素沉积；向反应腔室中通入氩气，对反应气压充压，将无机钽盐的载气流量提高，将钽元素的沉积温度提高，实现第二区域的钽元素沉积，并重复该过程实现钽元素在多孔石墨基底上的自内向外依次沉积；钽元素沉积完毕后，将高纯多孔石墨基底加热，反应得到碳化钽，通过调整反应条件，使反应气流在多孔材料的不同深度逐步渗透，并将Ta均匀沉积在不同的位置。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
