| 专利号 | 201510128458X | 申请日 | 2015-03-24 | 专利名称 | 一种制备大尺寸高质量石墨烯单晶的装置及方法 |
| 授权日 | 2017-03-22 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵显;于法鹏;许士才;程秀凤;孙丽;杨志远;陈秀芳 |
| 主分类号 | C30B25/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种制备大尺寸高质量石墨烯单晶的装置及方法。该装置包括：壳体和顶盖，顶盖内设带布气管的气体喷头，使进入的高纯气体均匀分布进入反应腔体；反应腔体由密封石英管、插接在两段密封石英管中间的石墨发热体、放置在石墨发热体内部的石墨坩埚组成，石墨坩埚用于放置SiC晶片衬底；石墨发热体外有冷却水系统、中频线圈；壳体底部有出气口。本发明还提供利用该装置在SiC衬底上制备大尺寸高质量石墨烯单晶的方法。采用本装置及生长方法，在SiC衬底上制得高质量的石墨烯晶体，其迁移率比SiC高温热解方法制备的石墨烯提高近1～2个数量级。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
