| 专利号 | 2021101600169 | 申请日 | 2021-02-05 | 专利名称 | 一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置 |
| 授权日 | 2023-02-17 | 专利权人 | 山东师范大学 | 发明人 | 曹文田 |
| 主分类号 | C23C14/35 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本公开提供了一种调制碲化铅薄膜中自由载流子吸收的方法及装置，采用射频磁控溅射仪器，所述方案包括：设定相关溅射工艺参数；获取碲化铅薄膜的自由载流子吸收与衬底温度曲线；根据所述曲线确定化学计量比与衬底温度的映射关系；基于所述映射关系，通过调节衬底温度实现所述碲化铅薄膜中自由载流子吸收的调制；获得预设化学计量比的碲化铅薄膜；所述方案通过调节衬底温度，改变制备出的碲化铅薄膜的化学计量比，从而改变薄膜中析出铅元素的量，用于改变杂质散射自由载流子的强度，达到调制自由载流子吸收的目的，进而实现碲化铅薄膜不同化学计量比的可控调节。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
