| 专利号 | 2022104869928 | 申请日 | 2022-05-06 | 专利名称 | 一种基于切趾光栅的高功率硅基半导体激光器 |
| 授权日 | 2024-05-28 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 高凤;李长蓬;赵佳 |
| 主分类号 | H01S5/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于切趾光栅的高功率硅基半导体激光器，包括：衬底、埋入氧化层、波导层、辅助键合层、间隔层、包层、量子阱有源区、顶包覆层、欧姆接触层、P型电极、N型电极；波导层中沿谐振腔的腔长方向刻蚀有切趾光栅；本发明通过切趾光栅的设计，激光器腔两端光子密度具有不对称性，输出光功率及利用效率明显提升，在保证稳定单模输出的同时，有效解决λ/4相移激光器出光功率/效率低的问题。与λ/4相移激光器相比，本发明基于切趾光栅的谐振腔具有更加平缓的腔内光场分布，从而解决λ/4相移激光器的空间烧孔的影响，得到更好的激光器性能。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
