| 专利号 | 2020106793638 | 申请日 | 2020-07-15 | 专利名称 | 一种BMN多层介质薄膜及其制备方法 |
| 授权日 | 2022-02-11 | 专利权人 | 齐鲁工业大学 | 发明人 | 石锋 |
| 主分类号 | C23C18/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种Bi1.5MgNb1.5O7(BMN)多层介质薄膜及其制备方法，属于微电子技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将柠檬酸铋铵、四水合乙酸镁、乙醇铌和柠檬酸水溶液混合，进行络合反应，得到Bi‑Mg‑Ni前驱体溶胶；利用激光脉冲沉积法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片的表面沉积MgO，得到取向为(111)的MgO仔晶层；将所述Bi‑Mg‑Ni前驱体溶胶涂覆在所述取向为(111)的MgO仔晶层的表面后，进行退火热处理，得到单层膜；将所述单层薄膜重复涂覆和退火热处理过程，得到取向为(222)的BMN多层介质薄膜。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
