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专利号 2018110188636 申请日 2018-09-03 专利名称 一种超滑表面的制备方法
授权日 2020-07-24 专利权人 山东科技大学 发明人 王清;王宁;徐双双;郑旭
主分类号 B81C1/00 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种超滑表面的制备方法,包括以下步骤:第一步,旋涂第一层紫外光刻正胶,进行常规光刻;第二步,旋涂第二层紫外光刻负胶,倾斜基底进行光刻;第三步,浸涂低表面能纳米颗粒;第四步,浸润润滑油。本发明通过旋涂双层紫外光刻胶,进行两次光刻,并且光刻时采用常规光刻与倾斜基底光刻相结合从而在常规光刻图案基底上又增加了一层具有一定倾斜角度的单向倾斜的,可自由调控的微结构;然后再浸涂低表面能纳米颗粒从而构建出微纳复合结构。这种倾斜与垂直的微米级结构之间形成的半闭锁空间,结合浸涂纳米颗粒增加的粗糙度使得润滑油更容易的留存在结构之中,使得润滑油不容易流失,从而有利于锁住润滑油。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】