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专利号 2019106827542 申请日 2019-07-26 专利名称 一种倒装GaN基HEMT-LED集成器件及其制备方法
授权日 2024-07-23 专利权人 山东大学 发明人 徐明升;王晓敏;葛磊
主分类号 H01L27/15 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种倒装GaN基HEMT‑LED集成器件,自上而下依次包括衬底、缓冲层,缓冲层的下表面一部分设置有N型导电层,另一部分设置有氮化镓(GaN)沟道层,在N型导电层的下表面自上而下依次包括多量子阱有源区、P型导电层、P型欧姆接触反射镜、P电极和P电极基板,氮化镓(GaN)沟道层的下表面设置有铝镓氮(AlGaN)势垒层,铝镓氮(AlGaN)势垒层的下表面设置有源电极和栅电极,源电极和栅电极分别连接有源电极基板、栅电极基板,P电极基板、源电极基板和栅电极基板共同设置在散热基板上并与散热基板接触,本发明的集成器件与散热基板通过金属电极接触,热阻小,散热效果好,可以有效的降低HEMT‑LED器件的结温,提高器件发光效率、可靠性和使用寿命。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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