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专利号 2020110912771 申请日 2020-10-13 专利名称 一种柔性透明电极及其制备方法
授权日 2022-06-24 专利权人 山东大学 发明人 孙珲;刘学男;宫建红
主分类号 H01B5/14 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种柔性透明电极及其制备方法,属于透明电极技术领域。该柔性透明电极是通过射频磁控溅射方法在柔性可弯曲的基底上由下至上依次层叠有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层薄膜形成。本发明将具有良好的导电性和延展性、对可见光的低吸收性的Ag作为中间金属层嵌入AZO薄膜中,得到具有AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层复合薄膜,Ag层具有优异的导电性,使得复合电极电阻率得到显著的降低,优化了其光电学性能和机械稳定性;同时嵌入有连续Ag层的AZO薄膜在弯曲状态下的电学稳定性大大提高:即使弯曲角度达到172度,AZO/Ag/AZO/Ag/AZO多层薄膜的电阻也几乎保持不变。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新能源产业    智能电网产业
运营方式 合作方式
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