| 专利号 | 2021107471621 | 申请日 | 2021-07-02 | 专利名称 | 一种薄膜材料及其制备方法和应用 |
| 授权日 | 2023-09-29 | 专利权人 | 烟台大学 | 发明人 | 任萍;王港港;杨晓阳;邱剑勋;司衍鑫 |
| 主分类号 | C23C14/35 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种薄膜材料及其制备方法和应用，属于防护材料技术领域。本发明提供了一种薄膜材料，包括钼元素、硅元素和贵金属元素，所述贵金属元素为金或银，所述钼元素的含量为28～35at.％，所述硅元素的含量为60～70at.％，所述贵金属元素的含量为0.5～1.5at.％，所述贵金属元素以单原子形式存在。本发明中，贵金属Au或Ag单原子的引入，可以调控MoSi2的微观结构，限制MoSi2的晶粒尺寸，提高MoSi2薄膜的致密度，改善其本征脆性提高其韧性，进而提高薄膜材料的硬度和断裂韧性。且Au单原子或Ag单原子的引入，能够极大地降低MoSi2薄膜的摩擦系数，对发动机传动机构具有重要意义。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
