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专利号 2018110185500 申请日 2018-09-03 专利名称 一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法
授权日 2020-05-26 专利权人 山东科技大学 发明人 王清;王宁;徐双双;郑旭
主分类号 B81C1/00 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法,包括以下步骤:第一步,旋涂第一层紫外光刻正胶,进行第一次紫外光刻;第二步,旋涂第二层紫外光刻负胶,倾斜基底进行第二次紫外光刻;第三步,浸涂低表面能纳米颗粒;第四步,真空蒸镀亲水金属薄膜,生成所需定向运输轨道,得到具有定向运输功能的超疏水表面。本发明通过两次紫外光刻,一方面增大了微结构的比表面积,使得浸涂低表面能纳米颗粒后粗糙度足够,另一方面在进行第二次光刻时,有意倾斜基板进行曝光,得到具有一定倾斜角度的单向倾斜的结构,从而相当于预先给定了一个滚动方向。该预先给定的滚动方向结合后期蒸镀得到的亲水运输轨道,较好地实现了液滴的定向运输。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】