| 专利号 | 2022101465922 | 申请日 | 2022-02-17 | 专利名称 | 一种无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用 |
| 授权日 | 2023-10-20 | 专利权人 | 济南大学 | 发明人 | 刘晓燕;张婷;周伟家;刘震;刘宏 |
| 主分类号 | C23C14/28 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用。本发明采用激光直写，待镀基底位于镀膜材料的上方或待镀基底位于镀膜材料的下方，激光聚焦在镀膜材料上制备得到无掩膜版的图案化薄膜。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为具有抑菌能力的金属材料时，图案化镀膜可以作为透明导电杀菌玻璃，应用于杀菌领域。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为金属材料时，制备得到的图案化镀膜可以与带有微流道的PDMS片基组成恒温扩增微流控芯片，应用于分析化学、生命健康、医学研究、环境检测等众多领域的微流控检测。本发明的方法不使用掩膜版，简单实用，成本低廉，并且可以简单的做到各种尺寸和材质基底的图案化镀膜，应用范围及其广泛。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
