| 专利号 | 2018110871257 | 申请日 | 2018-09-18 | 专利名称 | 一种硒化铟晶体管及其制造方法 |
| 授权日 | 2022-04-15 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 韩琳;姜建峰;张宇 |
| 主分类号 | H01L29/786 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硒化铟晶体管及其制造方法，该晶体管中将高k的氧化铪与硒化铟夹在双层的聚合物PMMA中，使得沟道的界面情况得到极大的改善，使得硒化铟晶体管可以实现高场效应电子迁移率和极小的滞后，极大提高了器件性能。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
