| 专利号 | 2021102883470 | 申请日 | 2021-03-18 | 专利名称 | 一种可用于高速光电探测的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜异质结 |
| 授权日 | 2022-07-12 | 专利权人 | 青岛科技大学 | 发明人 | 董立峰;夏丰金;马帅;沙震宗 |
| 主分类号 | H01L31/032 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结，属于半导体器件技术领域。本发明公开了一种精确制备锌掺杂铁酸铋/氧化镍薄膜异质结的方法，所述的异质结采用溶胶凝胶技术，可精确控制各层元素化学计量比、同时保证各层薄膜良好的结晶性及均匀致密的形貌，可控性强、工艺简单、制备效率高。本发明实现了锌掺杂铁酸铋与氧化镍的良好匹配、耦合形成异质结结构，利用铁酸铋极化电场和异质结内建电场相结合促进光生载流子输运，获得可见光范围内高速光电响应特性，可用于制作相关半导体光电探测器件，对氧化物钙钛矿薄膜在半导体器件领域的实用化具有重要意义。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
