| 专利号 | 2016110292113 | 申请日 | 2016-11-22 | 专利名称 | 一种在柔性基底上制造薄膜体声波谐振器的方法 |
| 授权日 | 2020-03-06 | 专利权人 | 山东科技大学 | 发明人 | 陈达;王璟璟;刘维慧;王鹏;苗泉 |
| 主分类号 | H03H9/17 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在柔性基底上制造薄膜体声波谐振器的方法，包括以下步骤：选用硅衬底，在硅衬底上依次涂覆水溶性高分子聚合物膜层和聚酰亚胺膜层；在聚酰亚胺膜层上方制造薄膜体声波谐振器；在薄膜体声波谐振器上电极顶端面制作金属柱；在薄膜体声波谐振器上电极顶端面涂覆聚甲基丙烯酸甲酯膜层；在硅衬底上涂覆所使用柔性基底的胶剂并固化；将已经制作完成的整个结构置于水中，使聚酰亚胺膜层与硅衬底分离；使用腐蚀液去除金属柱；将上述结构置于丙酮溶液中，溶解聚甲基丙烯酸甲酯膜层，形成空气隙；去除薄膜体声波谐振器下方的聚酰亚胺膜层。利用本发明所述的方法在柔性基底上制造薄膜体声波谐振器能够提升器件谐振性能，保证器件加工质量。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
