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专利号 2022113975165 申请日 2022-11-09 专利名称 一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法
授权日 2024-01-30 专利权人 山东师范大学 发明人 陈琛;韩张华
主分类号 G02B6/13 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法,包括:对非线性晶体进行预处理,并对处理后的非线性晶体进行离子注入;将经过离子注入后的非线性晶体旋涂光刻胶,并进行电子束曝光和后续加热处理,将加热处理后的非线性晶体进行显影操作,得到高分子聚合物和非线性晶体混合型光波导。本发明展示的制备方法无需直接改变非线性晶体波导层的几何形貌,因而避免了刻蚀非线性晶体的困难与挑战,以及机械加工非线性晶体制备波导结构单一的缺点,并且可制备的波导结构多样,适用于制备直线形、曲线形、环形波导、波导阵列等多种结构类型,以及上述几种类型波导的组合,乃至集成化波导光路的实现,应用前景广阔。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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