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专利号 2023107082622 申请日 2023-06-15 专利名称 一种基于拉曼光谱的激光烧蚀阈值测试装置及测试方法
授权日 2025-10-28 专利权人 山东大学 发明人 凌宗成;齐晓彬;刘平;辛艳青;刘长卿;肖阿阳
主分类号 G01N21/65 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种基于拉曼光谱的激光烧蚀阈值测试装置及测试方法,包括激光发射单元、光束分离单元、扩束器单元、激光测试单元、自动位移测试单元、拉曼光谱信号分离与采集单元、光谱仪单元和计算机控制单元,激光发射单元输出脉冲激光束,光束分离单元、扩束器单元、激光测试单元沿脉冲激光束的光路方向依次设置,自动位移测试单元设置在扩束器单元的焦点位置,拉曼光谱信号分离与采集单元与光谱仪单元依次设置在光束分离单元的透射方向,计算机控制单元与光谱仪单元电连接。本发明可实现不规则矿物样品的激光烧蚀阈值测试,并提供了显微图像与拉曼光谱结合的测试方法,使得烧蚀阈值的测试更为准确,提高了测试的自动化程度和测试效率。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
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