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专利号 2020106191224 申请日 2020-06-30 专利名称 一种谐振增强型光探测器及其制备方法
授权日 2021-12-03 专利权人 聊城大学 发明人 牛慧娟;陈南光;白成林;范鑫烨;房文敬;于传洋
主分类号 H01L31/0232 关键词 应用领域
摘要 本发明实施例提供一种谐振增强型光探测器及其制备方法,谐振增强型光探测器包括:由下至上依次形成的第一亚波长光栅层、衬底、第一接触层、吸收层、第二接触层、光栅间隔层以及第二亚波长光栅层,所述第一接触层和所述第二接触层上分别形成有n型接触电极和p型接触电极。该光探测器具有高量子效率、高响应带宽、偏振敏感、可实现角度偏转、制作工艺简单的优点。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新能源产业    太阳能产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】