| 专利号 | 2021114332267 | 申请日 | 2021-11-29 | 专利名称 | 一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源 |
| 授权日 | 2023-10-27 | 专利权人 | 青岛科技大学 | 发明人 | 潘家敬;路海涛 |
| 主分类号 | C23C14/32 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明设计了一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源装置，包括包括极靴、永磁体、阴极靶、阳极、绝缘冷却底座、水冷入口管道、水冷出口管道、引弧针、引弧杆、电机马达、旋转轴、保护罩、屏蔽罩。主要通过极靴和永磁体的纵向旋转、整个装置的横向旋转以及阴极靶绝缘冷却底座的冷却降温作用来使得电弧在靶面均匀分布，加速弧斑移动速度，减少液滴或大颗粒的形成，细化弧斑，细化膜层组织，最终提高膜层质量。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
