| 专利号 | 2021113441483 | 申请日 | 2021-11-15 | 专利名称 | 一种基于红外光源和PD的光收发一体芯片及其制备方法 |
| 授权日 | 2024-06-28 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 陶继方;冯亚琪 |
| 主分类号 | H01L31/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于红外光源和PD的光收发一体芯片及其制备方法，该芯片包括砷化镓衬底、生长于砷化镓衬底中心区域的支撑薄膜，所述支撑薄膜和砷化镓衬底上方沉积有金属层一，所述金属层一通过剥离形成红外光源的电极、加热区域和PD的P电极，所述红外光源的电极和加热区域位于支撑薄膜上方，所述PD的P电极位于砷化镓衬底上方；所述加热区域上方生长有增透膜，所述砷化镓衬底上通过刻蚀形成窗口，所述窗口内沉积有金属层二，形成PD的N电极；所述砷化镓衬底背面或者支撑薄膜上开设隔热腔。本发明集成光学元件体积小，成本低，工艺难度小，可实现光收发一体功能。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
