| 专利号 | 2025107178501 | 申请日 | 2025-05-30 | 专利名称 | 一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用 |
| 授权日 | 2025-09-23 | 专利权人 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) | 发明人 | 朱汉飞;赵康康;罗红钰;李欣然;牛渊博;王海建 |
| 主分类号 | C23C18/12 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用，属于电子材料开发和薄膜材料技术领域。本发明采用溶胶‑凝胶旋涂法以及通过控制退火次数，实现了锆钛酸铅膜材料的制备。本发明提供的压电膜材料可以直接沉积在金属Pt涂覆的Si基体上，无需引入额外缓冲层或掺杂任何元素，退火时间短，制备过程简单，所需全部原材料廉价易得，尤其具有高取向度、低矫顽电压和优异的铁电、压电性能，适于制备大尺寸（2~4英寸）晶圆，在压电微机电系统（MEMS）器件领域展现出巨大应用潜力。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
