| 专利号 | 2022107122305 | 申请日 | 2022-06-22 | 专利名称 | 薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法 |
| 授权日 | 2024-12-31 | 专利权人 | 枣庄学院 | 发明人 | 高炬;赵蒙 |
| 主分类号 | G01N21/45 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法。其包括内设空腔且上表面开口的容器、放置在空腔内下表面上的基片、设置在基片边缘一处与下表面之间的垫片、封闭所述开口的玻璃板以及穿过玻璃板透射入空腔的光源,所述玻璃板与所述下表面平行,所述基片与玻璃板之间存在空气层,所述基片靠近玻璃板的一侧表面设有钯薄膜,所述容器设有通向所述空气层的阀门,所述光源的入射光与玻璃板垂直。本发明提供的技术方案通过在一密闭空间中构建薄膜干涉结构,干涉结构中薄膜厚度会随氢气浓度变化发生变化,从而可以反映到干涉条纹的变化上,设计的传感器结构简单、反映灵敏、成本低、安全性高。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业  新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||