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专利号 2022107122305 申请日 2022-06-22 专利名称 薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法
授权日 2024-12-31 专利权人 枣庄学院 发明人 高炬;赵蒙
主分类号 G01N21/45 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法。其包括内设空腔且上表面开口的容器、放置在空腔内下表面上的基片、设置在基片边缘一处与下表面之间的垫片、封闭所述开口的玻璃板以及穿过玻璃板透射入空腔的光源,所述玻璃板与所述下表面平行,所述基片与玻璃板之间存在空气层,所述基片靠近玻璃板的一侧表面设有钯薄膜,所述容器设有通向所述空气层的阀门,所述光源的入射光与玻璃板垂直。本发明提供的技术方案通过在一密闭空间中构建薄膜干涉结构,干涉结构中薄膜厚度会随氢气浓度变化发生变化,从而可以反映到干涉条纹的变化上,设计的传感器结构简单、反映灵敏、成本低、安全性高。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
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【关 闭】